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    等离子灰化机
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    • 内槽

    • 硅晶圆灰化状态

    等离子灰化机
    PR500/510/1000
    低温等离子·经典桶型。
    特点
    • 大口径（Φ215mm）石英反应腔。
    • 小型一体化设计。
    • 操作简单的触摸屏方式（PR510型）。
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